Sumitomo Heavy Industries zahájí v Japonsku stroje sic iont implantace
Podle zpráv o zahraničních médiích, dceřiná společnost Sumitomo Heavy Industries, technologie Sumitomo Ion Technology, spustí na trhu napájecí polovodiče pro silikonový karbid (SIC) na trhu již v roce 2025.
Většina zařízení používaných v procesu SIC je stejná jako tradiční linie výroby křemíku, ale vzhledem k vysoké tvrdosti SIC je vyžadována speciální výrobní zařízení, jako jsou iontové stroje s vysokou teplotou, stroje na uhlíkové filmy, vysoká hromadná výroba-Temperature žíhající pece atd. Mezi nimi je přítomnost vysokoteplotních iontových implantačních strojů důležitým kritériem pro měření výrobních linek SIC.
Podle zprávy, implantační zařízení ION vstřikuje ionty nečistoty, jako je fosfor a boron do oplatky, aby změnil své elektrické vlastnosti.U křemíkových oplatků se tepelné zpracování provádí po implantaci iontu, aby se obnovila krystalinita.U SIC je však obtížné obnovit krystalinitu pouze tepelným zpracováním po implantaci iontu.Obvyklou metodou je zahřívat čip SIC na asi 500 stupňů Celsia, poté provést implantaci iontů a tepelné zpracování.Vzhledem ke složitému provoznímu procesu mají SiC polovodiče problém s nižším výnosem než křemíkové polovodiče.
Tentokrát technologické technologie Sumitomo Heavy Industries plánují zlepšit metodu implantace iontů svých spuštěných produktů a zároveň zachovat kvalitu SIC a zvyšování výroby.
Vzhledem k faktorům, jako je vysoká technická obtížnost a obtížné ověření procesu, existují vysoké konkurenční bariéry a vysoká koncentrace průmyslu v průmyslu iontové implantační stroje.Celkově je celý trh monopolizován hlavně americkou společností Applied Materials Company a American Axcelis Company, což představuje více než 70% globálního trhu.
Nejnovější údaje z Trendforce Consulting ukazují, že SIC stále zrychluje jeho penetraci na aplikačních trzích, jako jsou automobily a obnovitelná energie, kde je hustota a efektivita energie nesmírně důležité.Celková poptávka po trhu si v nadcházejících letech udrží trend růstu a odhaduje se, že se očekává, že globální velikost trhu SIC napájecí zařízení v roce 2028 dosáhne 9,17 miliardy dolarů.